Mô tả sản phẩm
Silicon nitrideCác màng mỏng có cấu trúc dày đặc, sức mạnh cao và khả năng chống mài mòn tốt, và có thể được sử dụng làm thành phần cấu trúc trong các thiết bị MEMS. Mô đun và độ cứng của Young của màng nitride silicon đã được thử nghiệm bằng phương pháp PECVD, và tác động của nhiệt độ lắng đọng và tỷ lệ dòng khí phản ứng đối với mô đun Young và độ cứng của màng đã được phân tích. Phim silicon nitride được sử dụng như một chùm huyền phù để chế tạo các công tắc RF MEMS.
Thông số sản phẩm
| Cấp | N | Si | Ca tối thiểu | O tối thiểu | C phút | Al Min | Fe tối thiểu |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Hình ảnh hợp tác sản phẩm
1.Silicon nitrideGốm sứ là gốm sứ cấu trúc nhiệt độ cao và cường độ cao với triển vọng phát triển rộng. Nó có hiệu suất cao (như cường độ cao, ổn định sốc nhiệt tốt, độ bền mệt mỏi cao, cường độ uốn cao ở nhiệt độ phòng, khả năng chống mài mòn, kháng oxy hóa, chống ăn mòn, v.v.), và đã được sử dụng rộng rãi trong mọi tầng lớp. Các phương pháp chuẩn bị của nitride silicon chủ yếu bao gồm thiêu kết phản ứng (RS), thiêu kết áp suất nóng (HPS), thiêu kết áp suất khí quyển (PLS) và thiêu kết áp suất khí nén (GPS). Hiện tại, vấn đề chính là các sản phẩm gốm silicon nitride có độ bền thấp và chi phí cao. Trong tương lai, cần phải cải thiện các quá trình phay, đúc và thiêu kết và kết hợp cacbua silicon nitride và silicon để phát triển gốm silicon nitride tốt hơn.
Chú phổ biến: Silicon nitride kim loại cấp cao, nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà sản xuất silicon kim loại cao cấp Trung Quốc